製品詳細

商品名 高機能洗浄剤 AM1
一般製品名 高機能洗浄剤
会社名 三菱ケミカル株式会社
部署名 アドバンストソリューションズドメイン インフォメーション・エレクトロニクスディビジョン 半導体セクター 半導体マテリアルズユニット
TEL 03-6748-7168
製品情報 AM1は高いパーティクル除去性とメタル除去性を併せ持つ高機能洗浄剤で、EL薬品の一種です。バッチ・枚葉洗浄共に適用可能な高性能RCA代替洗浄剤です。さらに、シリコンを腐食しないため、メタルゲート用洗浄剤としても優れた性能を持っています。
特長:・枚葉洗浄剤(高清浄な表面を短時間で実現)
    ・メタルゲート用洗浄剤(タングステン・シリコンの腐食防止)
ホームページ https://www.m-chemical.co.jp/products/departments/mcc/semicon/product/1200442_7244.html

製品群(中分類-小分類)

中分類 小分類
スペシャリティケミカル 洗浄剤・防汚剤
電子・電気関連製品 エレクトロニクス材料/部材
その他の電子・電気関連製品

用途

IT、ユビキタスネットワーク
RCA代替洗浄剤、メタルゲート用洗浄剤

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