製品詳細

商品名 電子工業用高純度プロセス薬品 "スターシリーズ"
一般製品名 電子工業用高純度プロセス薬品
会社名 三菱ケミカル株式会社
部署名 アドバンストソリューションズドメイン インフォメーション・エレクトロニクスディビジョン 半導体セクター 半導体マテリアルズユニット
TEL 03-6748-7168
製品情報 半導体製造工程におけるシリコンウエハの洗浄においては、近年の半導体回線幅の微細化にあわせ、高度なパーティクル・メタルの除去が求められています。三菱化学のスターシリーズはそれらの要求に応え、10ppt以下のメタル不純物レベルの高純度性を備えた電子工業用プロセス薬品です。
取扱品目:塩酸、硝酸、アンモニア水
ホームページ https://www.m-chemical.co.jp/products/departments/mcc/semicon/product/1200440_7244.html

製品群(中分類-小分類)

中分類 小分類
スペシャリティケミカル エッチング剤
洗浄剤・防汚剤
電子・電気関連製品 エレクトロニクス材料/部材
その他の電子・電気関連製品

用途

IT、ユビキタスネットワーク
半導体製造工程における、シリコンウエハの洗浄

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